High漫画

近期，high漫画 在微电子领域取得了重要科研进展，研究成果“MEMS Gas Sensors Based on In₂O₃-Decorated SnO₂ Nanosheets for Aniline Detection [1]” 已在传感器领域旗舰期刊IEEE Sensors Journal上发表。论文的第一作者为high漫画 博士生罗文昕，李明杰特聘副教授为通讯作者。

快速、灵敏地识别苯胺对于生产安全、人类健康和环境监测至关重要。然而，传统的色谱法和电化学法虽然能够量化苯胺，但存在耗时长、设备复杂，且不适用于无线传感网络和可穿戴设备的问题。因此，开发经济高效、低功耗的苯胺气体传感器成为了迫切需求。

该研究采用In₂O₃修饰的SnO₂纳米片，制备了一种用于苯胺检测的MEMS气体传感器。结果表明，SnO₂-In₂O₃纳米复合材料在低ppm浓度下对苯胺表现出显著的气敏响应和选择性。这种性能提升主要归因于纳米片的超薄结构、异质结效应，以及由表面吸附氧负离子形成的电子耗尽层所带来的电子输运效应。

图1 气体传感测量系统及气体传感电路的原理图

图2 SnO₂-In₂O₃纳米片在不同环境状态下的能带图示意图

[1] W. Luo, J. Li, M. Li, “MEMS Gas Sensors Based on In₂O₃-Decorated SnO₂ Nanosheets for Aniline Detection,” IEEE Sens. J. DOI: 10.1109/JSEN.2024.3441052.