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近期，high漫画 在微电子领域继续取得重要进展，研究成果“A Single MEMS Sensor Based on SnO₂ Nanosheets for Selective Gas Identification [1]” 发表在电子器件领域权威期刊IEEE Transactions on Electron Devices。high漫画 博士生罗文昕为论文第一作者，李明杰特聘副教授为通讯作者。

气体识别在环境监测、工业安全和医疗保健等领域具有重要应用。然而，传统方法依赖多个传感器阵列和复杂算法，且容易受到温度、湿度等环境因素的干扰。此外，阵列中的传感元件容易受时间漂移影响，增加系统不稳定性及校准成本。因此，开发基于单一传感器的简便高效的气体识别方法显得尤为关键。

该研究采用基于SnO₂纳米片的单一气体传感器，通过同时测量传感器电流与温度变化，将数据映射至二维空间。利用温度变化与气体灵敏度的特定规律，能够快速识别多种还原性气体并准确预测气体浓度，实现了简化气体识别系统复杂性的目标。

图1 用于测量设备温度和电导率的 MEMS 传感器示意图

图2 使用单个基于SnO₂的MEMS传感器在工作温度下识别不同种类的气体

[1] W. Luo, J. Li, M. Li, “A Single MEMS Sensor Based on SnO₂ Nanosheets for Selective Gas Identification,” IEEE Trans. Electron Devices, DOI: 10.1109/TED.2024.3464573.